三协示教器OP5000维修

 

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      半导体晶圆传送设备通常由传送带、引导片和传感器等组成，其中传送带可以将晶圆有效地传送到目的地，引导片可以自动检测晶圆是否适合传送，保证晶圆在传送过程中能够稳定运行，而传感器则可以实时监控物料的位置、速度和数量，确保物料的准确传送。

 

       半导体机械手、半导体机器人，硅片机器人、硅片机械手等，均指半导体晶圆传输机器人。重点用在半导体工艺设备和Foundry厂等，典型应用如蚀刻机、光刻机、薄膜沉积设备（PVD、CVD）、晶圆清洗设备、CMP设备、离子注入机、检测设备（ATE、探针台、分选机）、涂胶显影机、晶圆片键合机、去胶设备和显影设备等。